Масальский, Николай Валерьевич (кандидат физико-математических наук; ведущий научный сотрудник). Наноразмерные кремниевые полевые транзисторы для биосенсоров [] / Масальский Николай Валерьевич // Датчики и системы. - 2020. - № 2. - С. 48-52 : ил. - Библиогр.: с. 52 (12 назв.). - Научная библиотека Пензенского государственного университета. - code, dasi. - year, 2020. - no, 2. - ss, 48. - ad, 1. - d, 2020, , 0, y. - RUMARS-dasi20_no2_ss48_ad1 . - ISSN 1992-7185
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): TCAD -- биосенсоры -- вольт-амперные характеристики -- компьютерное моделирование -- кремниевые полевые транзисторы -- нанотранзисторы -- полевые транзисторы -- сенсорные элементы -- цилиндрические полевые нанотранзисторы Аннотация: Рассмотрена проблема применимости кремниевых цилиндрических полевых нанотранзисторов, выполненных на основе отечественного современного технологического процесса с топологическими нормами 65 нм, для разработки компактных биосенсоров. При помощи компьютерного моделирования рассчитаны электрофизические характеристики транзисторов с длиной канала (сенсорного элемента) 25.. 65 нм. Показана возможность достижения высокой чувствительности к изменению управляющего напряжения и линейности этой характеристики в зависимости от размеров канала. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |