Пауткин, Валерий Евгеньевич (кандидат технических наук; главный специалист). Технологические методы улучшения параметров поверхности микромеханических резонаторов [] / Пауткин Валерий Евгеньевич, Недопекин Никита Вячеславович // Датчики и системы. - 2020. - № 2. - С. 57-60. - Библиогр.: с. 59-60 (14 назв.). - Научная библиотека Пензенского государственного университета. - code, dasi. - year, 2020. - no, 2. - ss, 57. - ad, 1. - d, 2020, , 0, y. - RUMARS-dasi20_no2_ss57_ad1 . - ISSN 1992-7185
Рубрики: Радиоэлектроника Автоматика и телемеханика Кл.слова (ненормированные): датчики -- кремниевые микромеханические резонаторы -- микромеханические датчики -- микромеханические резонаторы -- резонаторы -- чувствительные элементы -- шероховатости поверхностей Аннотация: Предложены технологические методики улучшения параметров поверхности кремниевых микромеханических резонаторов. Методики основаны на снижении шероховатости поверхности резонаторов путем химического полирования поверхности и термического окисления микронеровностей, возникающих при формировании кремниевых структур жидкостным анизотропным и плазмохимическим травлением кремния. Уменьшенная шероховатость поверхности резонаторов помимо увеличения механической прочности повышает добротность микромеханических датчиков. Доп.точки доступа: Недопекин, Никита Вячеславович (аспирант; инженер-электроник) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |