Давыдов, А. Д. Электрохимическое локальное безмасковое микро/нано размерное осаждение, растворение и оксидирование металлов и полупроводников [] : обзор / А. Д. Давыдов, В. М. Волгин // Электрохимия. - 2020. - Т. 56, № 1. - С. 56-86. - Научно-техническая библиотека Национального технического университета «Харьковский политехнический институт». - code, elch. - year, 2020. - to, 56. - no, 1. - ss, 56. - ad, 1. - d, 2020, , 0, y. - RUMARS-elch20_to56_no1_ss56_ad1 . - ISSN 0424-8570
Рубрики: Химия Электрохимия Кл.слова (ненормированные): лазерно-электрохимическая обработка -- локальное травление -- локальное электроосаждение -- оксидирование -- сканирующие зондовые микроскопы Аннотация: Обзор посвящен современным методам локальной безмасковой электрохимической обработки металлов и полупроводников с целью нанесения на их поверхность отдельных островков или углублений, их групп, рисунков по заданной программе или микро/нано 3D структур, например, металлических нитей и различных конструкций из них. Для этого используются различные методы локализации процессов электрохимического осаждения, растворения или оксидирования. Доп.точки доступа: Волгин, В. М. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Давыдов, А. Д. Электрохимическое локальное безмасковое микро/нано размерное осаждение, растворение и оксидирование металлов и полупроводников [] : обзор / А. Д. Давыдов, В. М. Волгин // Электрохимия. - 2020. - Т. 56, № 1. - С. 56-86. - Научно-техническая библиотека Национального технического университета «Харьковский политехнический институт». - code, elch. - year, 2020. - to, 56. - no, 1. - ss, 56. - ad, 1. - d, 2020, , 0, y. - RUMARS-elch20_to56_no1_ss56_ad1 . - ISSN 0424-8570
Рубрики: Химия Электрохимия Кл.слова (ненормированные): лазерно-электрохимическая обработка -- локальное травление -- локальное электроосаждение -- оксидирование -- сканирующие зондовые микроскопы Аннотация: Обзор посвящен современным методам локальной безмасковой электрохимической обработки металлов и полупроводников с целью нанесения на их поверхность отдельных островков или углублений, их групп, рисунков по заданной программе или микро/нано 3D структур, например, металлических нитей и различных конструкций из них. Для этого используются различные методы локализации процессов электрохимического осаждения, растворения или оксидирования. Доп.точки доступа: Волгин, В. М. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |