Чувашская республиканская детско-юношеская библиотека

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Статьи - результаты поиска

Вид поиска

книги

Статьи

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=монокристаллический кремний<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Параметрическая коррекция технических параметров МЭМС изменением профиля распределения примеси в упругих элементах [] / Филонов Олег Михайлович, Бестугин Александр Роальдович, Киршина Ирина Анатольевна, Окин Павел Александрович // Датчики и системы. - 2019. - № 11. - С. 45-48 : ил. - Библиогр.: с. 48 (7 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - Научная библиотека Пензенского государственного университета. - code, dasi. - year, 2019. - no, 11. - ss, 45. - ad, 1. - d, 2019, , 0, y. - RUMARS-dasi19_no11_ss45_ad1 . - ISSN 1992-7185

УДК

^a621.38

^a539.2

ББК 32.85 + 22.37
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника в целом
   Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
МЭМС -- бор -- диффузия -- легирование -- легирующие примеси -- микроэлектромеханические системы -- модули упругости -- монокристаллический кремний
Аннотация: Рассмотрены результаты моделирования зависимости модуля упругости E[100] монокристаллического кремния от концентрации распределения легирующей примеси (бора) в балочных упругих элементах МЭМС. Показано, что при равномерном легировании бором при изменении концентрации бора от 10{15} до 10{19} см {-3} модуль E[100] изменяется в пределах от 1, 26 до 0, 9 ГПа, что соответствует известным результатам экспериментальных исследований ряда авторов. Зависимость модуля E[100] от изменения концентрации и распределения примеси в монокристалле позволяет использовать ее для коррекции технических параметров МЭМС и их динамических характеристик на завершающих этапах производства и повышения тем самым качества изделий.

Доп.точки доступа:
Филонов, Олег Михайлович (кандидат технических наук; доцент); Бестугин, Александр Роальдович (доктор технических наук; профессор; директор института); Киршина, Ирина Анатольевна (кандидат экономических наук; доцент); Окин, Павел Александрович (аспирант)
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика за 08.07.2024
Число запросов	75195
Число посетителей	0
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)