З-15 Задача диффузии для кусочно-однородной среды как модель процесса ионно-плазменной имплантации / Н. А. Ращепкина, А. П. Скуркайте, В. П. Табаков // Вестник Чувашского университета. Естественные и технические науки. - 2011. - № 3. - С. 150-155 : рис. - Библиогр.: с. 155 (5 назв.)
Рубрики: Естественные науки--Математика Кл.слова (ненормированные): диффузия -- ионная имплантация -- ионно-плазменная имплантация -- математическая модель -- однородные уравнения Аннотация: Рассмотрена математическая модель процесса ионной имплантации в виде уравнения диффузии для кусочно-однородной среды. Получено аналитическое решение глобального характера, которое может быть использовано для оценки глубины диффузионного слоя и подбора параметров технологических режимов, обеспечивающих необходимые эксплуатационные свойства режущих пластин. Держатели документа: Чувашская республиканская детско-юношеская библиотека Доп.точки доступа: Ращепкина, Нина Александровна (кандидат физико-математических наук ; 1948-); Скуркайте, Аллите Пятрасовна (старший преподаватель ; 1976-); Табаков, Владимир Петрович (доктор технических наук) Имеются экземпляры в отделах: ОНЛиБ Экз. 1-ОЭ - 1.00 р. (свободен) ДХ Экз. 2-ОЭ - 1.00 р. (свободен) ОНЛиБ Экз. 3-ОЭ - 1.00 р. (свободен) |