Шевченко, Алексей Иванович (ассистент). Влияние неидеальности кристаллической структуры и условий диффузии на формирование мелкозалегающего p-n перехода [] = Influence of nonideality of the crystal structure and diffusion conditions on the formation of a shallow p-n junction / А. И. Шевченко, А. С. Мазинов, Н. Э. Арутинов // Экологический вестник научных центров Черноморского экономического сотрудничества. - 2017. - Т. 14, № 1. - С. 74-82 : 5 ил. - Библиогр.: с. 80-82 (29 назв. ). - Кубанский государственный университет. - code, evnc. - year, 2017. - to, 14. - no, 1. - ss, 74. - ad, 1. - d, 2017, , 0, y. - RUMARS-evnc17_to14_no1_ss74_ad1
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): p-n переходы -- бор -- диффузия -- кристаллические структуры -- предел растворимости -- солнечный кремний -- фосфор -- энергия активации Аннотация: В работе рассмотрено влияние основных диффузионных констант на профиль распределения фосфора при легировании солнечного кремния, допированного бором. Определена девиация этих параметров и ее вклад в изменение глубины залегания p-n перехода. Доп.точки доступа: Мазинов, Алим Сеит-Ахметович (кандидат технических наук; доцент); Арутинов, Никита Эдуардович (студент) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |