32.84 А 22 Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие / А. А. Сазонов [и др.] ; ред. А. А. Сазонов. - Москва : Высшая школа, 1991. - 334 с. : рис. - Библиогр.: с. 332. - ISBN 5-06-000731-6 (в пер.) : 1.60 р.
Рубрики: Общая радиотехника--Учебные издания для высших учебных заведений Доп.точки доступа: Сазонов, А. А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 Чит. зал (1) Свободны: Чит. зал (1) |